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石墨模具被广泛应用在半导体工业

文字:[大][中][小] 手机站 2022-12-06     浏览次数:     

       用于金刚石工具制造的石墨模具材料主要是超细颗粒结构、高纯度、高石墨化程度的石墨材料。石墨模具材料的平均直径小于15微米,甚至小于10微米,平均孔径小于2微米。该碳原料制成的石墨模具具有孔隙率小、结构致密、表面光洁度高、抗氧化能力强等优点,平均使用寿命可达30~40倍。下面金时特碳素小编介绍石墨模具被广泛应用在半导体工业:

石墨模具被广泛应用在半导体工业(图1)

  电子烧结石墨模具和晶体管支架可以用热变形最小的人造石墨材料制造。目前,它们被广泛应用,已成为半导体工业发展不可缺少的材料。热压烧结金刚石刀具的电子烧结石墨模具在金刚石刀具的制造过程中具有加热元件和模具支撑的双重功能,石墨模具的质量直接取决于金刚石刀具的尺寸精度和外观形状。此外,石墨模具还用于铸铁、各种有色金属的耐久性模具、钢铸件、耐热金属(钛、锆、钼等)和钢轨焊接的铝热焊模具。

  热压烧结石墨模具工艺要求:温度为(1000±2)℃,成型压力为16×50MPa,保温时间为15×30min,环境为非真空状态。在这种工作条件下,不仅要求具有导电性、高电阻率和足够的机械强度,而且要求具有良好的抗氧化性和较长的使用寿命,以保证金刚石工具的尺寸精度和优良的性能。金刚石模具硬度高,抗氧化性能好,加工精度高。高质量石墨原料的使用大大延长了模具的使用寿命,提高了石墨模具的抗氧化性。


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